設計特點
● 比傳統 2D 掃描器更大的視野簡化了大型零件的加工
● 整個視野內的光斑畸變最小化，最大限度地減少了最高品質雷射加工零件的加工偏差
● 空氣和水冷卻選項提供熱穩定性並提高長期精度
● 針對各種雷射波長的鏡面處理的多種選擇
大視野和最小光斑畸變
獨特的光學設計有效控制光束入射光瞳，使 X 和 Y 掃描器運動重合，從而增加掃描器系統的有效數值孔徑。這種設計直接在給定焦距下實現了更大的視野，並減少了整個工作區域的光斑失真。這些優勢意味著 AGV-SPO 能夠更快、更一致地處理更大的零件。
設計配置
AGV-SPO 可選配多種光學鍍膜和聚焦光學元件，以支援各種常用雷射波長和焦距。為了滿足其他需求，Aerotech 可以根據要求為 AGV-SPO 提供客製化光學元件和光學安裝功能。 AGV-SPO 可配置風冷鏡子、水冷馬達或兩者兼具。這些主動冷卻功能有助於在存在雷射引起的熱幹擾以及劇烈運動輪廓的情況下保持工作平面精度。
進階編程功能
AGV-SPO 利用了 Aerotech 的所有先進運動和位置同步輸出 (PSO)功能，這些功能是為傳統振鏡和伺服平台的雷射加工應用而開發的。加速限制等輪廓功能可用於自動降低急彎或小半徑處的速度，以最大限度地減少超調。可以根據帶有 PSO 的鏡子的位置反饋來觸發激光，以確保掃描儀改變速度時光斑重疊一致。
Aerotech 的無限視野 (IFOV)功能將伺服和掃描儀運動無縫結合，將掃描儀的打標能力擴展到伺服平台的整個行程範圍，從而消除了更傳統的移動-曝光-重複過程中可能出現的拼接錯誤。
| |
AGV14SPO |
| OPTICAL PERFORMANCE |
| Beam Aperture |
14 mm |
| Maximum Scan Angle |
±20° |
| Beam Displacement |
35 mm |
| Dither (Min. Incremental Motion)(2) |
0.3 µrad RMS |
| Accuracy |
50 µrad pk-pk |
| Repeatability(3) |
0.6 µrad RMS |
| Gain Error |
0.05 mrad |
| Non-Linearity |
0.01% |
| DYNAMIC PERFORMANCE |
| Tracking Error |
0 µsec |
| Peak Acceleration(4)(5) |
60,000 m/s2 |
| Continuous Acceleration(4)(6) |
20,000 m/s2 |
| Positioning Speed(4) |
50 m/s |
| Processing Speed(4)(7)(8) |
5 m/s |
| Jump & Settle Time, 1 mm Move(4)(9) |
700 µsec |
| STABILITY |
| Long-Term Drift-Offset |
10 µrad/12 hrs |
| 15 µrad/24 hrs |
| Long-Term Drift-Gain |
10 ppm/24 hrs |
| Thermal Drift-Offset |
20 µrad/°C |
| Thermal Drift-Gain |
1 ppm/°C |
| MECHANICAL SPECIFICATIONS |
| Weight |
5.1 kg |
| Material |
Aluminum (Black Anodize and Blue Paint) |
| MTBF (Mean Time Between Failure) |
20,000 hours |
Notes:
- All angles are optical unless otherwise specified
- Without air cooling option
- After initial 3-hour warm-up, ambient temperature variation < ±0.5 deg
- Typical performance with f = 160mm F-Theta objective
- Based on maximum rated current of the motor
- Based on rated rms current of the motor with water cooling option; maximum continuous acceleration is 70% of this value without water cooling
- Achievable with <1% velocity error over continuous velocity portion of move
- Marking speed is dependent on allowable tracking error
- Settled to within 1% of move distance
- All specifications are per axis unless otherwise noted
