設計特點
● 透過創新、動態優化的設計提高製程吞吐量
● 透過高解析度回饋提供卓越的動態精度並提高製程產量
● 透過可選的空氣和水冷卻增強熱穩定性
● 透過多種光學配置提供系統設計靈活性
● 與其他運動軸輕鬆同步，提供無縫整合且易於使用
關鍵應用
AGV-XPO 非常適合需要卓越動態精度、最小跟隨誤差以及快速移動和穩定性能的高吞吐量應用，包括：
● 顯示處理
● 高速鑽孔和切削
● 電子製造
● 大視野、長焦距掃描
● 飛秒雷射加工
針對高動態進行結構最佳化
我們的 AGV-XPO 掃描頭經過徹底設計，可提供極高的速度和加速度，同時提供出色的部分路徑精度。此功能的關鍵是新穎的馬達設計，具有超剛性、低慣量轉子與高效定子配對，與更傳統的振鏡馬達設計相比，可增加頻寬並減少追蹤誤差。此外，經過專門優化的後視鏡和後視鏡安裝座可透過增加扭轉剛度和降低轉動慣量進一步有助於提高動態性能。
卓越的回饋分辨率
高解析度回饋設備對於實現高速動態精度至關重要。 AGV-XPO 提供兩種回饋配置，以滿足各種應用要求。對於需要最高等級加速度並具有中短有效焦距的應用，請首選具有數位插值輸出訊號和低慣性標尺（-E1 選項）的高解析度位置編碼器。對於需要最精細部分路徑精度和/或利用長有效焦距的高動態應用，可以使用反饋解析度小於 0.0002 µrad（-E2 選項）的超高解析度編碼器。
配置靈活
AGV-XPO 具有多種孔徑尺寸以及多種光學鍍膜和聚焦光學元件可供選擇，以支援各種雷射和應用。我們還可以根據要求提供客製化光學元件和光學安裝功能。此外，AGV-XPO 還可配置風冷鏡子、水冷式馬達或兩者兼具。這些主動冷卻功能有助於在存在由雷射和劇烈運動輪廓引起的熱幹擾的情況下保持雷射點放置精度。最後，所有Aerotech 雷射掃描頭都可以使用Aerotech 控制器輕鬆地與其他類型的運動軸（伺服軸、步進軸、壓電軸、六足軸等）協調，從而簡化系統整合並實現最佳的易用性。
進階編程功能
AGV-XPO 使用Aerotech 為傳統的基於伺服的雷射加工應用開發的所有先進運動和位置同步輸出 (PSO)功能。輪廓函數可用於幫助最大限度地減少軌跡超調。可以根據帶有 PSO 的鏡子的位置反饋來觸發激光，以確保掃描儀改變速度時光斑重疊一致。 Aerotech 的無限視野 (IFOV)功能將伺服和掃描器運動無縫結合，將掃描器的打標能力擴展到伺服平台的整個行程，從而消除了更傳統的步進掃描過程中可能出現的拼接錯誤。
| |
AGV10XPO |
AGV14XPO |
AGV20XPO |
| OPTICAL PERFORMANCE |
| Beam Aperture |
10 mm |
14 mm |
20 mm |
| Maximum Scan Angle |
±20° |
| Beam Displacement |
12.6 mm |
16.5 mm |
23.2 mm |
| Feedback Resolution |
0.012 µrad (25 bit) (-E1)
0.00016 µrad (32 bit) (-E2) |
| Dither (Min. Incremental Motion)(2) |
0.4 µrad RMS (-E1)
0.02 µrad RMS (-E2) |
| Accuracy |
50 µrad pk-pk |
| Repeatability(3) |
0.4 µrad RMS |
| Gain Error |
0.05 mrad |
| Non-Linearity |
0.01% |
| DYNAMIC PERFORMANCE |
| Tracking Error |
0 µsec |
| Peak Acceleration(4)(5) |
355,000 m/s2 (-E1) |
262,000 m/s2 (-E1) |
95,000 m/s2 (-E1) |
| 300,000 m/s2 (-E2) |
231,000 m/s2 (-E2) |
88,000 m/s2 (-E2) |
| Continuous Acceleration(4)(6) |
95,000 m/s2 (-E1) |
66,000 m/s2 (-E1) |
25,000 m/s2 (-E1) |
| 80,000 m/s2 (-E2) |
58,000 m/s2 (-E2) |
23,000 m/s2 (-E2) |
| Positioning Speed(4) |
84 m/s (-E1) |
81 m/s (-E1) |
55 m/s (-E1) |
| 48 m/s (-E2) |
48 m/s (-E2) |
48 m/s (-E2) |
| Jump & Settle Time, 1 mm Move(4)(7) |
210 µs (-E1) |
225 µs (-E1) |
280 µs (-E1) |
| 250 µs (-E2) |
260 µs (-E2) |
340 µs (-E2) |
| STABILITY |
| Long-Term Drift-Offset(3) |
10 µrad/12 hrs |
| 15 µrad/24 hrs |
| Long-Term Drift-Gain(3) |
10 ppm/24 hrs |
| Thermal Drift-Offset |
10 µrad/°C |
| Thermal Drift-Gain |
1 ppm/°C |
| MECHANICAL SPECIFICATIONS |
| Mass |
2.5 kg (-E1) |
2.6 kg (-E1) |
2.9 kg (-E1) |
| 3.1 kg (-E2) |
3.2 kg (-E2) |
3.5 kg (-E2) |
| Material |
Aluminum (Black Anodize and Blue Paint) |
| MTBF (Mean Time Between Failure) |
20,000 hours |
Notes:
- All angles are optical unless otherwise specified.
- Without -AC air cooling option.
- After initial 3 hour warm-up, ambient temperature variation < ±0.5 °C.
- Typical performance with f = 160mm F-Theta objective.
- Based on maximum rated current of the motor.
- Based on rated rms current of the motor with -WC water cooling option; maximum continuous acceleration is 70% of this value without water cooling.
- Settled to within 1% of move distance.
- All specifications are per axis unless otherwise noted.
