晶圓自動化宏觀檢測設備

產品名稱 : 晶圓自動化宏觀檢測設備
產品說明 :
● 升級各種制程產線的複判為全自動化模式(上料/定位/拍照/存圖)
● 提供各種瑕疵地圖轉換與導入
● 自動化量測功能, 自動進行CD/Overlay計算 (搭配100x以上物鏡)
● 自動讀碼, 將複判/抽檢資訊與MES連線,自動上傳
● 具有AI自動化複判升級功能, 提升複判準確率
● 內建圖像離線資料庫軟體, 可人工離線分析