
UE-WIS-NAS-12
UE-WIS-NAS-12
產品型號:UE-WIS-NAS-12
產品說明:
產品說明:
-
● 多模式量測選擇, 點/線/全面式3D量測
● 對應各類化合物半導體晶圓,SiC/GaN/GaSb/InP
● 對應各種透明/不透明材料如外延片, Si與其他化合物半導體Wafer
● 固定式光學量測, 產品不移動,提供高精度量測保證
● 可搭配影像模組進行表面檢查功能
產品特色 :
● 超越傳統500圖元點,可輸出1億資料點,量測小尺寸40um凸點平/共面度
● 新型光學模組, 可對應減薄/解鍵/鍍膜後大翹區產品
● 可量測晶圓載盤,陶瓷/石墨/SiC, 直接量測載盤凸點,不需使用參考晶圓間接推算
● 對應手動或自動上下料、分揀系統
● Teopel like model,支援細部分析或快速全面檢測