| 晶圓尺寸 |
200/150mm |
| 卡匣承載 |
1 |
| SMIF卡匣承載 |
適用於6/8寸晶圓 |
| 200mm 卡匣承載選配 |
開放式卡匣 |
| 卡匣承載保護板OPTION選配 |
Loadport兩側保護隔板(天車及 AGV 系統保護隔間板) |
| 機器人 |
SYO 五軸裝置 |
| 比對 |
安全裝置，包括晶圓位置;疊片;斜插片 |
| Pre-aligner |
SEMI 標準為8”（Use for 6”）warpage<=1 毫米 |
| 輸送量 |
8”（Use for 6”）-->Pre-aligner-->Macro-->Microscope(傳片) |
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