| 晶圓尺寸 |
300mm Notch |
| 卡匣承載 |
1 |
| 300mm 卡匣承載 |
FOUP /FOSB Detect byinfopad |
| 200mm 卡匣承載選配 |
開放式卡匣 |
| 卡匣承載保護板 |
Loadport兩側保護隔板 |
| OPTION選配 |
(天車及 AGV 系統保護隔間板) |
| 機器人 |
SYO 五軸裝置 |
| 比對 |
安全裝置，包括晶圓位置;疊片;斜插片 |
| Pre-aligner |
SEMI 標準為12"，warpage<=1 毫米 |
| 輸送量 |
12"FOUP-->Pre-aligner-->Macro-->Microscope(傳片) |
| 晶圓破碎率 |
<1/50,000 |
| 晶圓厚度 |
12"：350~1000um |
| 晶圓翹曲度 |
最大≦1mm.(with End Effecter) |
| 稼動率 |
99.80% |
| MTBF |
>1000 小時 |
| MTTR |
<3 小時 |
| 無塵等級 |
等級100 |
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Email: andy.wen@unice.com.tw
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