自動化蒸鍍機載卸檢測設備

產品名稱 : 自動化蒸鍍機載卸檢測設備
產品說明 :
E-Gun 蒸鍍機與自動化載卸檢測晶圓設備特點:

• 2 台無塵精密等級6 軸機械手臂進行晶圓片協同載卸作業
• 高精度毫秒級3 向量雷射及高解析相機測定鍍盤平面定位
• 可適用4~8 吋的凸凹曲面鍍鍋盤( 傘架)
• 自動取出晶圓進行mapping、aligner、ID/OCR 讀取、校正
• 降低因人力操作觸碰晶圓導致污染風險
• 配合客戶需求客製各種製程設備達自動化生產作業
• 專業開發自主軟體、機構設備已取得多項國內外發明、新型專利