UE-AWS-8-1

UE-AWS-8-1

產品型號：UE-AWS-8-1
產品說明：
    晶圓載卸檢測設備或EFEM 是半導體製造過程中重要的自動化分檢傳送設備。

    • 可適用4~12 吋的載具卡匣、晶舟盒、傳送盒等晶圓
    • 自動取出晶圓進行mapping、aligner、ID/OCR 讀取、校正
    • 降低因人力操作觸碰晶圓導致污染風險
    • 配合客戶需求客製各種製程設備達自動化生產作業
    • 專業開發設備已取得多項國內外發明、新型專利
    • 適合在無塵室製程環境，有效提升生產良率
價格(NTD)：$0
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