自動化晶圓載卸檢測設備

產品名稱 : 自動化晶圓載卸檢測設備
產品說明 :
晶圓載卸檢測設備或EFEM 是半導體製造過程中重要的自動化分檢傳送設備。

• 可適用4~12 吋的載具卡匣、晶舟盒、傳送盒等晶圓
• 自動取出晶圓進行mapping、aligner、ID/OCR 讀取、校正
• 降低因人力操作觸碰晶圓導致污染風險
• 配合客戶需求客製各種製程設備達自動化生產作業
• 專業開發設備已取得多項國內外發明、新型專利
• 適合在無塵室製程環境，有效提升生產良率