晶舟/晶圓盒清洗機

產品名稱 : 晶舟/晶圓盒清洗機
產品說明 :
全自動上下料系統，搭配中央機械手開盒。
具備人工取放口，缸體后方有門便切換成手動模式使用。
全自動化下最高程度減免人員汙染。
是最成熟可多方滿足生產、維護人員使用機型。