晶圓瑕疵檢測設備

產品名稱 : 晶圓瑕疵檢測設備
產品說明 :
● 具有宏觀與微觀全自動同時分流獨立檢測功能
● 自研高速飛拍高速計術,對比定點拍照速度提速2倍以上
● 內置複檢光學, 可實現50倍以上顯微量測(CD/Overlay)功能
● 自研智慧化專案自動化功能, 支援單一晶圓多芯設計檢測方案,
● 內建離線資料庫軟體功能, AI系統做自動缺陷分類
● 可擴增3D光學模塊,與3D量測軟體
● 可搭配特殊上料手臂, 同時相容標准晶圓與帶框晶圓