平坦度量測儀

產品名稱 : 平坦度量測儀
產品說明 :
● 多模式量測選擇, 點/線/全面式3D量測
● 對應各類化合物半導體晶圓，SiC/GaN/GaSb/InP
● 對應各種透明/不透明材料如外延片, Si與其他化合物半導體Wafer
● 固定式光學量測, 產品不移動,提供高精度量測保證
● 可搭配影像模組進行表面檢查功能