設備參數
1. 光源組件：
氦氖激光器：波長632.8nm，P>1.5mW，TEM00，全保護安全高壓插頭，雙開關設計（安全鑰匙、按鍵）符合CE 要求。
2. 探測器組件：
CMOS 相機：分辨率1280×1024，量化深度10bit，像素大小5.2μm×5.2μm，USB2.0 接口。
3. 光學組件：
可調衰減器：Φ50mm，光密度OD：0～3.0；
成像透鏡：Φ40mm，f=150mm；
分光棱鏡：25.4mm×25.4mm×25.4mm，AR@400～700nm；
加強鋁反射鏡：Φ40mm。
4. 空間濾波器件：40×顯微物鏡，25μm 針孔，精密三維調整機構，微調精度0.002mm。
5. 機械組件：
磁性表座：外形61mm×51mm×55mm，吸力45kg；調節支座、支桿；高精度調節鏡架，穩定性<2′。
6. 測試組件：目標物；
7. 實驗系統軟件：散斑干涉圖採集模塊，激光散斑計算模塊，電子散斑計算模塊，散斑圖像處理模塊，圖片採集模塊，USB2.0軟件鎖。
8. 實驗手冊及保修卡。
實驗原理
