設備參數
1. 光源組件：
1-1氦氖激光器：波長632.8nm，P>1.5mW，TEM00，全保護安全高壓插頭，雙開關設計（安全鑰匙、按鍵），符合CE要求；
1-2可變模式氦氖激光器：增益管長270mm，布魯斯特窗，可實現模式包括TEM00、TEM01、TEM10、TEM11等。
2. F-P共焦球面掃描干涉儀組件：精細常數>100，自由光譜區2.48GHz；鋸齒波發生器線性小於<10%，鋸齒波電壓範圍0～150V，偏置電壓0～150V可調，頻率0～100Hz可調，探測器帶寬1MHz，
一級信號放大。
3. 光斑參數測量及計算系統：
3-1 光斑質心位置、一維光強分佈曲線、能量分佈二維偽彩色顯示，三維立體顯示、光斑水平以及垂直寬度。
3-2 可計算光斑束腰寬度、束腰位置、遠場發散角、M2 因子以及瑞利長度， USB2.0 軟件鎖。
4. 光學組件：
偏振片：Φ25.4mm，K9玻璃窗口，AR@400nm～700nm，消光比>400:1；
高斯光束變換透鏡：Φ20mm～40mm，f=50.8mm～150mm，光潔度III級；
衰減片：透過率T=0.2～10%；窄帶濾光片：半波寬50nm。
5. 探測器組件：
可編程功率計：顯示屏顯示內容為測量波長、自動/手動量程模式、衰減窗口狀態、當前功率測量檔位；主機顯示頻率300mS/次，測量精度0.1μW，分辨率0.1μW，支持六擋量程；
測量波長范圍200nm-1100nm，功率測量範圍0-40mW（裸探測器）/0-2W（衰減窗口）；提供實時功率顯示，長期功率檢測，並顯示測量時長、測量時間內的功率變化曲線，
提供最大值、最小值、均值顯示，可導出excel數據，用戶設定功率警報範圍，超出報警提示；USB2.0遠程操作通訊接口。
CCD相機：分辨率1292*964，量化深度12bit，像素大小3.75μm×3.75μm，miniUSB2.0接口。
6. 機械組件：
精密光學導軌：L×W=1200mm×90mm，配套滑塊、一維移動滑塊、調節支座、支桿；高精度調節鏡架；CCD可變衰減光闌：C接口；二維可調棱鏡支架；激光管夾持器，二維俯仰可調，
最大夾持Φ50mm 。
7. 實驗手冊及保修卡。
實驗原理
