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Hexapod為高精度、高重複性與高穩定度之移動載台,六象限的位移搭配非常適合目前的矽光子對位應用。
高精度6軸電控平台可針對需要高重線性、高穩定度且高自由度之應用,最小移動量可達20nm,最高重線性小於0.3um的誤差值適合在光纖對位等應用上提供最有效率的耦合方式。