表面量測 / 自動化控制應用

The Aerotech Difference – 詹姆斯韋伯望遠鏡介紹

韋伯望遠鏡主鏡長達6.5米,由18個六邊型的面鏡拼接而成,又有網球場大小的遮陽膜,這是人類史上最大的太空望遠鏡,然而這18個六邊形的面鏡個別的移動與角度掌握了望遠鏡最終得到的成像。

了解 Aerotech 的客製化 6 軸運動系統如何幫助 NASA 建造詹姆斯韋伯太空望遠鏡。

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高解析度線白光共焦檢測儀

CHRomatic CLS 2 Pro 線白光共焦感測器是 Precitec 3D Metrology 最新的線感測器,提供高速、長線長度和高角度接受度的最佳組合。 CLS 2 Pro 是款多功能、高性能的主力檢測設備,設計用於與各種易於互換的探頭一起使用,以執行各種檢測任務。高達 36,000 線/秒的高速晶圓檢測或曲面深度檢測。此外,還可對所有表面進行測量,例如電池箔檢查(石墨/銅),線長可達 20 毫米。

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Battery foils 鈦箔厚度檢測方案

使用Precitec一對二Sensor 2 DPS,即可實現同時檢測光亮與粗糙黑併存之表面,並達到1um以內的穩定度。

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超高精度3D量測

針對wafer表面品質解測,使用顯微鏡探頭搭配奈米級穩定度平台,保持量測的準確度。

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高精度檢測平台

Keyence 白光干涉儀搭配 Aerotech 超高精度平台,可在高倍率的量測下提供奈米級的移動量與穩定度平台尺寸與移動行程可依照需求客製化打造,各大半導體廠持續導入中。

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