半導體量測應用
半導體量測應用
[Aerotech] 半導體檢測最佳運動控制夥伴
從通訊和交通運輸到醫療保健和農業，會發現半導體製程是創新的核心。只要在半導體的領域中，就有可能找到 Aerotech。
Aerotech的產品廣泛應用於世界各地的許多半導體的製程和半導體的檢測工序。
自動化蒸鍍機載卸檢測設備
E-Gun蒸鍍機與自動化載卸檢測晶圓設備結合下，為未來第三代半導體製造技術發展的重要方向。此設備運用2台6軸精密機械手臂進行載卸晶圓片，3向量雷射，以毫秒級測定鍍盤平面，再進行自動高精度之載、卸定位作業，避免人工破片、誤放、減少污染，SECS/GEM為自主開發軟體可滿足客製化的需求，有效管理生產履歷達智慧生產、精實作業管理。
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自動化晶圓載卸檢測設備
晶圓載卸檢測設備或EFEM是半導體製造過程中重要的自動化分檢，可適用不同尺寸晶圓的載具卡匣、晶舟盒、傳送盒中取出晶圓，進行晶圓的處理、轉移和對位，降低因人力操作導致污染風險，此設備為客製化可結合各種製程設備無縫集成，有助於提升晶圓片產線的穩定性和品質控管作業。
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